ด้วยการพัฒนาของคอมพิวเตอร์ ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ และเทคโนโลยีสารสนเทศ ทำให้การพัฒนาอุตสาหกรรมการผลิตชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์เติบโตอย่างรวดเร็ว พร้อมทั้งขับเคลื่อนการพัฒนาของเทคโนโลยีห้องคลีนรูมไปพร้อมกัน ในขณะเดียวกัน ก็มีความต้องการและข้อกำหนดที่สูงขึ้นสำหรับการออกแบบห้องคลีนรูม

การออกแบบห้องคลีนรูมในอุตสาหกรรมการผลิตอิเล็กทรอนิกส์ถือเป็นเทคโนโลยีที่มีความซับซ้อน การทำความเข้าใจลักษณะการออกแบบห้องปลอดเชื้อของอุตสาหกรรมการผลิตอิเล็กทรอนิกส์อย่างถ่องแท้และการออกแบบที่เหมาะสมเท่านั้น จึงจะช่วยลดอัตราความบกพร่องของผลิตภัณฑ์และเพิ่มประสิทธิภาพการผลิตได้

คุณลักษณะของห้องคลีนรูมสำหรับอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์

กำหนดให้ระดับความสะอาดอยู่ในเกณฑ์สูง ปริมาณลม อุณหภูมิ ความชื้น ส่วนต่างความแรงดัน และระบบระบายอากาศของอุปกรณ์ได้รับการควบคุมตามความต้องการ ความสว่างและความเร็วลมในส่วนของห้องคลีนรูมจะถูกควบคุมตามการออกแบบหรือข้อกำหนด นอกจากนี้ ห้องคลีนรูมประเภทนี้ยังมีข้อกำหนดที่เข้มงวดมากเกี่ยวกับไฟฟ้าสถิต โดยเฉพาะอย่างยิ่งข้อกำหนดด้านความชื้นที่มีความเข้มงวดเป็นพิเศษ เนื่องจากไฟฟ้าสถิตสามารถเกิดขึ้นได้ง่ายในโรงงานที่มีความแห้งจนเกินไป ซึ่งอาจสร้างความเสียหายต่อวงจรรวม CMOS ได้

1. โดยทั่วไปแล้ว อุณหภูมิของ ห้องคลีนรูมสำหรับอิเล็กทรอนิกส์ ควรถูกควบคุมให้อยู่ที่ประมาณ 22℃ และควรควบคุมความให้อยู่ในระดับระหว่าง 50-60% (เวิร์กช็อปห้องสะอาดพิเศษจะมีกฎระเบียบเกี่ยวกับอุณหภูมิและความชื้นที่เกี่ยวข้อง) ในช่วงเวลานี้ ไฟฟ้าสถิตจะถูกกำจัดอย่างมีประสิทธิภาพและผู้ปฏิบัติงานจะรู้สึกสบายตัว

2. ห้องคลีนรูมสำหรับผลิตชิป ห้องคลีนรูมสำหรับวงจรรวม และเวิร์กช็อปการผลิตดิสก์ เป็นองค์ประกอบสำคัญของห้องคลีนรูมในอุตสาหกรรมการผลิตอิเล็กทรอนิกส์ เนื่องจากผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์มีข้อกำหนดที่เข้มงวดมากเกี่ยวกับสภาพแวดล้อมทางอากาศภายในอาคารและคุณภาพในระหว่างกระบวนการผลิตและสร้างชิ้นงาน เป้าหมายหลักจึงเป็นการควบคุมอนุภาคและฝุ่นละอองที่ลอยอยู่ในอากาศ ในขณะเดียวกัน ก็มีการกำหนดข้อบังคับที่เข้มงวดเกี่ยวกับอุณหภูมิและความชื้นของสิ่งแวดล้อม ปริมาณอากาศบริสุทธิ์ และเสียงรบกวน

3. ระดับเสียงรบกวน (ในสภาวะว่างเปล่า) ใน 10,000-class clean room of an electronic manufacturing plant: should not be greater than 65dB(A).

4. อัตราส่วนความหนาแน่นของห้องคลีนรูมแบบไหลในแนวดิ่งของโรงงานผลิตชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ไม่ควรน้อยกว่า 60%, และห้องคลีนรูมแบบไหลทางเดียวในแนวนอนไม่ควรน้อยกว่า 40%, มิฉะนั้นจะเป็นการไหลทางเดียวแบบบางส่วน

5. ผลต่างความดันสถิตระหว่างห้องคลีนรูมและภายนอกของโรงงานผลิตชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ไม่ควรน้อยกว่า 10Pa และผลต่างความดันสถิตระหว่างพื้นที่สะอาดและพื้นที่ไม่สะอาดที่มีความสะอาดของอากาศต่างกันไม่ควรน้อยกว่า 5Pa